開発秘話:半導体露光装置 [SEMI News]

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 SEMI News 2003年5-6月号 20~21頁 「半導体露光装置

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

ニコン, 精機カンパニー, 諏訪恭一, CARL ZEISS, レーザ計測, パーキンエルマー, 移動ステージ, 10対1露光, スループット, ステッパー, アライメント, 光学レンズ, ステージ制御, レチクル, オートフォーカス, 縮小投影, NSRシリーズ, ゴミ洗浄検査, ガラス基板, マスク, 稼働率, 技術立国, 理化学教育, 超LSI研究組合, 国家プロジェクト, 人材育成,産業育成, 光学機器, 露光機,


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