開発秘話:洗浄装置 [SEMI News]

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 SEMI News 2003年11-12月号 16~17頁 「洗浄装置

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

大日本スクリーン製造, 大神信敏, 写真製版, フォトマスク製造, 東京オリンピック, カラーテレビ, シャドウマスク,  フォトレジスト, アルミ配線, ウエットエッチング, カセットtoカセット, 全自動アルミエッチャー, バッチ式洗浄装置, レジスト剥離, 酸洗浄,  硫酸剥離装置, 石英ヒーター, スピンドライヤー, 統合化ウエット, ワンバス式, マルチバス式, 液流可視化, 薬液供給システム, FC3000,


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