開発秘話:ダイサ [SEMI News]

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 SEMI News 2004年1-2月号 22~23頁 「ダイサ

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

ディスコ, DISCO, 関家一馬, 砥石, 第一製砥所, 超極薄砥石, ミクロンカット, 40マイクロメートル,  ダイシングソー, DAD-2H, セミコン・ウエスト, 縦型拡散炉, Kiru・Kezuru・Migaku, マニュアルダイシングソー, 300シリーズ,  DAD320, セミコン・ショー, セミコン・ジャパン,


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