開発秘話:メタル用マイクロ波エッチング装置 [SEMI News]

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 SEMI News 2004年3-4月号 18~19頁 「メタル用マイクロ波エッチング装置

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

日立ハイテクノロジーズ, 川崎義直, 日立製作所, 笠戸工場, 8インチ, 機械研究所, 伝播, 特許, M206A,  プラズマ源, インライン, アッシャ, マイコン制御, パーティクルレス, 高速, 搬送システム, ブラウン運動, クーロン力, M308AT,  メガビット, アルミ配線, 腐食, アッシャ内蔵, 日刊工業新聞社, 新製品賞, M300シリーズ, ベストセラー機, M500, M600,  山本則明,


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