開発秘話:プローバ [SEMI News]

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 SEMI News 2004年5-6月号 20~21頁 「プローバ

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

東京エレクトロン, TEL, 井上準一, プローブ・カード, ウエハ, パッド, Electroglas, 3インチ,  モデル, 5500, 半自動, 3300, アライメント, 全自動, 4400A, 6インチ, 20S, ロボット・アーム, 8インチ, 80S/W,  パターン比較, 画像認識, P-8, 12インチ, メモリ量産, MPUメーカー, Z軸, P-12XL, 針合わせ精度, 1.8μm,


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