開発秘話:ポジ゙型フォトレジスト [SEMI News]

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 SEMI News 2004年9-10月号 16~17頁 「ポジ゙型フォトレジスト

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

東京応化, 浅海慎五, ゴム系, ウエットエッチング, g線, 436nm, 投影露光, i線, 365nm,  化学増幅型, プロキシミティー露光, OFTR-800, Shipley, AZ-1350, 現像液, 珪化ナトリウム, ノボラック樹脂, 感光剤,  トリヒロドキシベンゾフェノン, ナフトキノンジアジドスルフォン酸エステル, 特許, テトラメチルアンモニウムヒドロキシド, TMAH, IBM,  NMD-3, クロロベンゼン浸漬法, リフトオフ,


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