開発秘話:特殊ガス [SEMI News]

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 SEMI News 2005年1-2月号 24~25頁 「特殊ガス

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

ジャパンファインプロダクツ, 秦裕一, 日本酸素, 太陽日酸, シラン, ホスフィン, ジボラン, アルシン,  水素化物, 三塩化燐, ベースガス, 荷姿, 供給容器, 容器処理, 混合技術, 品質管理, 保安技術, 粗面度, 標準ガス, バルブ装着, 加熱真空引,  窒素封入, 酸洗浄, 内面洗浄, 480L, 500L, パーティクルフリー,


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