開発秘話:ウエハー搬送ロボット [SEMI News]

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 SEMI News 2005年3-4月号 16~17頁 「ウエハー搬送ロボット

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

タツモ, 仕田原仁志, 井原市, レジスト塗布装置, GCA, ウエーハトラック, エアーベアリング, ウォーキングビーム, TR-4000, スピンコーター, TR-5000, Oリングベルト搬送, メカ式搬送, TR-6000, プリアライメント, スカラ型ロボット,  レーザー式アライメント, 位置合わせ, TR-800, 走行軸, SEMICON West, HTシリーズ, GTシリーズ, STシリーズ, MTRシリーズ,  MSTRシリーズ,


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