開発秘話:集積化ガスシステム [SEMI News]

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 SEMI News 2006年1-2月号 24~25頁 「集積化ガスシステム

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

フジキン, 山路宮治雄, IG,S ガス供給, ベースブロック, インターフェース, MFC, メタルガスケット,  Wシール, 継手部, メタルCリング, 東北大学, 大見教授, ガスパネル, レべリングシステム, 流路, ゴムワッシャー, ガイドリング, 実施許諾権,  WTFセミナー, W-seal Technology Forum JAPAN, SEMIスタンダード, オールメタルバルブ, 日刊工業新聞, モノつくり部品大賞,  UPG継手,


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