開発秘話:大型ガラス基板用レジストコータ [SEMI News]

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 SEMI News 2006年7-8月号 24~25頁 大型ガラス基板用レジストコータ

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

大日本スクリーン, 木瀬一夫, 液晶, スリットコータ, リニアコータ, スピンコータ, ロールコータ, TFT-LCD,  スリットノズル, ランドコータ, コターデベロッパ, 洗浄, 塗布, 現像, 傾斜搬送, エアーナイフ乾燥, 第5世代, シミュレーション, 可視化,  第6世代, 第7世代, モーダル解析,


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