開発秘話:産業用超小型放射光源「AURORA」 [SEMI News]

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 SEMI News 2006年9-10月号 22~23頁 「産業用超小型放射光源「AURORA」

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

SEN, 住友イートンノバ, 高橋令幸, ULSI, リソグラフィ, サブハーフミクロン, エキシマレーザー,  X線, EUV, 電子線, シンクロトロン放射光, SRリング, IBM, NTT, ソルテック, COSY, 住友重機械工業, 住重, 加速器,  サイクロトロン, ビームライン, 豊田英二郎, セクター型, 電磁石, 共鳴入射, 超伝導, マイクロトロン, 150MeV, 650MeV,  LIGA, TIEGA, 高山猛, AURORA-2S, ウイスコンシン大,


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