開発秘話:液晶用レジスト塗布装置 [SEMI News]

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 SEMI News 2006年11-12月号 24~25頁 「液晶用レジスト塗布装置

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

東京応化, 佐合宏仁, SOG, スピンコーター, カラーTFT液晶, 液晶テレビ, 産業の米, 産業の顔, 風きり,  ガラス基板, 回転カップ, TFTパネル, レジスト塗布, 400mm, 14インチ, 減圧乾燥, 基板周辺洗浄, 塗布3点セット, ベーク,  TFTアレー, CF用, ノンスピン, 顔料分散型, カラーレジスト, CFPR, ダンボール, クッキーの缶,


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