開発秘話:全反射蛍光X線分析装置の開発 [SEMI News]

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 SEMI News 2008年3-4月号 20~21頁 「全反射蛍光X線分析装置の開発

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

テクノス, 西荻一夫, 金属汚染, シリコン, ウェーハ, ISO14706, ISO17331, 遷移金属,  Fe, Cu, 鏡面, 表面分析, EDX, エネルギー分散蛍光X線分析, 検出器, SSD, X線源, 回転対陰極, ダイレクト照射, モノクロ励起,  単色励起, バックグラウンド, 単色化結晶, ウェーハマッピング, Charles Evans, EAG, 異物検査, 九州大学, 米田, 堀内,


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