開発秘話:MoSi位相シフトマスクへの道のり [SEMI News]

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 SEMI News 2010年 No.1 20~21頁 「MoSi位相シフトマスクへの道のり

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

レーザテック, 渡壁弥一郎, マスクブランクス, クロム, Cr, パターン, Toppan Photomask,  三菱電機, 洗浄, 剥がれ, 遮光材, 石英基板, スパッタ成膜, EBレジスト, 電子ビーム露光, スクラブ洗浄, 低反射膜, ハーフトーンマスク,  HTマスク, 超解像技術, i線, KrF, アルバック, 64M, 位相差測定, MIT, X線リソグラフィ,


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