開発秘話:ウェーハレベルパッケージングによるMEMS [SEMI News]

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 SEMI News 2011年 No.2 16~17頁 「ウェーハレベルパッケージングによるMEMS

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

東北大学, マイクロシステム融合研究センター, 江刺正喜, センサ, 一括封止, マロリー, 陽極接合, 圧力センサ,  加速度センサ, スタンフォード, 体内埋込, 酸素飽和度モニタ, ピエゾ抵抗, 人工心臓, カテーテル, PHモニタ, ダイヤフラム, 容量型加速度センサ,  真空パケージング, 静電浮上回転ジャイロ, ナビゲーション, MEMSスイッチ, T2000, 貫通配線付LTCC,


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