開発秘話:CDSEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope) [SEMI News]

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 SEMI News 2011年 No.3 18~19頁

 「CDSEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope)

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

日立ハイテクノロジーズ, 佐藤貢, 走査電子顕微鏡, SEM, 測長SEM, Scanning Electron Microscope, 0.3nm, 日立製作所, 波長限界, 計測手段, 分解能, 電界放出型電子源, FE電子源, Field Emission,  S-800, FE-SEM, S-6000, 15nm, 電子スポット, インレンズSEM, S-6100, 8nm, SE電子源, Schottky Emission, リターディング法, S-8000, 5nm, 帯電,


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