開発秘話:半導体用電子ビームマスク描画装置 [SEMI News]

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 SEMI News 2012年 No.1 20~21頁 「半導体用電子ビームマスク描画装置

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

ニューフレアテクノロジー, 滝川忠宏, NFT, 東芝, マスク, EB描画装置, ベル研究所, Etec, MEBES,  ガウシャンビーム, ステージ連続移動, ラスタスキャン, 超LSI研究所, ウェーハ直接描画, 電子光学系, 磁気シールド, 単結晶LaB6電子銃,  EX-0, 東芝機械, 1MDRAM, 近接効果, 光リソグラフィ, X線リソグラフィ, 加速電圧, 50kV, 可変整形ビーム, ベクタスキャン,  超先端技術開発機構, ASET, EX-11, 後方散乱電子, 半導体先端テクノロジーズ, SELETE,


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