開発秘話:ArFレジスト材料-成長と創出- [SEMI News]

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 SEMI News 2013年 No.2 16~17頁 「ArFレジスト材料-成長と創出-

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

日本電気, 長谷川悦雄, 高分子学会, NEC, 脂環ラクトン, NECラクトン, モノマー, 共重合体, コポリマー,  ドライ, 露光, 90nm, 22nm, ウエット, 液晶, 導電性高分子, エキシマレーザ, リソグラフィー, 等倍X線, 電子線, 水銀灯,  g線, i線, 知的財産権, 機能統合型構造設計, 微細加工, 縮小露光, カルボキシル脂環骨格, 日本化学会技術賞, EUV, 液浸法,


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