日本半導体イノベーション50選  (D-5 1970年代)

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CMOS高速4KビットSRAMの開発と量産化

日立では1978年、二重ウエルCMOS構造を使った高速4KビットSRAMを開発して2月のISSCCで発表し、続いてHM6147として製品化した。
当時最高速を誇っていたインテル社の2147(4KビットNMOS製品)に比べて、HM6147は同一速度を達成し、消費電力は桁違いに小さくできることを実証した。日立では引き続いて16KビットSRAM(HM6116)の開発と量産化にも成功し、CMOSが主流デバイスになりうることを示した。
これらの事を契機として、マイコン、ロジック、DRAMなどでもCMOS化が進み、主流デバイスがNMOSからCMOSへと転換していった。

2重ウエルCMOSLSI断面構造
(日経エレクトロニクス CMOSを普及させたチップ(最終回)  2007.9.10 PP131-134)より

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