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三機工業, 長谷川勉, 微細加工, クリーンルーム, クラス100, HEPAフィルタ, 空調, 乱流, 米国連邦規格, Federal Std.209b, 粒径, 0.5μｍ, クラス10,000, 層流, 床パネル, 送風機, 機械室, 天井フレーム, ULPAフィルタ, FFU, ファンフィルタユニット, 垂直立ち上げ, 工期短縮, 内装システム, パーティション, アクセス床構造, シール材, ベイ方式, ボールルーム, 局所クリーン, 完全密閉ライン,
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