開発秘話:マスクブランクス [SEMI News]

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 SEMI News 2005年7-8月号 24~25頁 「マスクブランクス

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

HOYA, 流川治, 保谷電子, 薄膜コー, ブランクス, 光学ガラス, ソーダライム系, 投影露光, 低膨張ガラス,  LE-30, 硼珪酸素系, 高融点, クロムブランクス, 低反射ブランクス, AR3, 位相シフトマスク, HOYAセミナー, レチクル規格,  標準膜厚, 6.35mm, 端面研磨フォトマスク, エマルジョン, ハードマス, 研磨技術, スパッタ技術, オイルショック, TAU, クロムメッキ,  ターゲット, 高周波スパッタ,


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