1960年代前半

カセット・ツー・カセット方式

〜装置・材料/ファブ・共通〜


IMS(1963年にGCAが買収)はフォトレジストの全自動の塗布機および現像機を製作し、これにウェーハカセットを採用した(図1)。25枚のウェーハを出し入れするカセットで、塗布⇒露光⇒現像の工程間をカセットに収納して運び処理することができ、カセット・ツー・カセット方式と呼ばれた。この方式は後にSEMI規格になり、半導体製造の全工程に採用されて現在に到る。

 
図1 ウェーハカセット(写真)


【関連展示】
[1] 1971年:SEMIの発足
[2] 1988年:全自動化ファブ


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[1] 1960年代:クリーンベンチ
[2] 1971年:SEMIの発足
[3] 1980年代:ウルトラクリーン・テクノロジーの進展


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Ver.001 2018/07/09