1920年 「ロボット（Robot）」という新語の誕生（チャペック）
この戯曲に登場するロボットは外見では人間と変わらず、人間のあらゆる仕事を代行する。このロボットを開発したロッサム商会はさらに感受性を備えるように改良を加え、世界中に輸出してゆく。人間は労働から自由になるが、やがてロボットは団結してすべての人間を殺してしまう。しかしロッサム商会は滅びる前に設計図を燃やしてしまい、ロボットも自らを生産できなくなって滅びてしまう。神が創った人間を、神に代わって人間が人間を創ることに天罰が下るというキリスト教の信条に立った物語であるが、労働に潜む隷属性や生命倫理などの現代的な問題を提起している。
1928年 日本で初めてのロボット「學天則」
1950年 ロボット三原則の提唱（アシモフ）
第一法則：ロボットは人間に危害を加えてはならない．またその危険を看過することによって，人間に危害を及ぼしてはならない。
第二法則：ロボットは人間に与えられた命令に服従しなくてはならない。ただし，与えられた命令が第一法則に反する場合はこの限りではない。
第三法則：ロボットは前掲の第一法則、第二法則に反するおそれのない限り、自己を守らなければならない。
これらは、人間への安全性（第一法則）、命令への服従（第二法則）、自己防衛の目的（第三法則）の3つの原則から成るが、現実のロボット工学のあり方についても影響を与えている。
1952年 鉄腕アトム、月間少年（光文社）に連載開始（手塚治虫）
最終回では、アトムは危機に瀕した地球を救うために、太陽の活動を抑えるロケットを抱えて太陽に突っ込んで自ら犠牲となり人類を救った。心優しい感情と純粋な良心を持ったアトムは、人を愛し、人のために尽くしたという印象を当時の青少年に与え、これは日本人のロボットに対するあるべき普遍的イメージとして定着した。近年の日本のロボット工学者たちは幼少年時代に鉄腕アトムに出会い、ロボット技術者を志すきっかけになっている者も多いと言われている。鉄腕アトムは日本の高水準のロボット技術力に間接的ながらも大きな影響を与えたといえる。
1962年 世界初の産業用ロボット会社Unimationの設立（エンゲルバーガーとデボル）
初期のロボットのプログラム制御には真空管が使われていたが、次第にトランジスタなどの半導体に置き換わった。
1967年 世界初の郵便物自動処理装置開発（東芝）
1971年 日本ロボット工業会の前身（産業用ロボット懇談会）の設立
この工業会ではロボット及びそのシステム製品に関する研究開発の推進及び利用技術の普及促進等を行うことにより、ロボット製造業の振興を図るとともに、広く産業の高度化及び社会福祉の向上に資し、ひいては国民経済の健全な発展と国民生活の向上に寄与することを目的として各種の事業を実施している。
1973年 トランジスタ用自動ワイヤーボンダーの開発（日立）
後には、より多端子のIC用ワイヤーボンダー、CABS（Computer Automated Bonding System）が開発され、DIP・QFPなど多端子樹脂封止型パッケージの自動組立が可能となり日本半導体製品の信頼性面で優位につながった。日立の技術はその後㈱新川などワイヤーボンダーメーカに引き継がれた。
[半導体歴史館 関連資料]（パッケージング技術）1973年：トランジスタ用自動ワイヤーボンダーの開発 （装置・材料）1973年：自動ワイヤーボンディング装置（AWE）
1973年 日本初の二足歩行ロボット（WABOT-1）の開発（早大）
1977年 日本初の全電気式汎用産業ロボットの製品化（安川電機）
垂直多関節形のマニュプレータ構造を採用したことを特徴としている。同社が得意とするアーク溶接を中心に、スポット溶接、ハンドリング、組立、塗装、液晶パネル搬送、半導体ウエハ搬送など様々な用途に最適なロボットを次々に商品化し市場に投入し、世界の産業用ロボットの市場の活性化に大きく貢献してきた。
主用途の１つ半導体ウエハ搬送は、高速で振動の少ない動作が要求される半導体シリコンウエハを搬送するアプリケーションである。
1980年代 産業用ロボットの普及とファクトリー・オートメーションの本格化
オートメーション（automation）という用語は1948年の自動車メーカーのフォードによる造語であり、その後米国で自動化を意味する“antomate”という動詞が派生した（1957年）。この自動化を実現するのが産業用ロボットである。1962年の米国に初の産業用ロボット会社Unimation が設立され、重量物部品の装着やスポット溶接などの危険作業を自動化する様態がスタートした。ファクトリー・オートメーションの始まりともいえる。この産業用ロボットは日本でも注目を集め、Unimation の技術を導入した川崎航空機工業（現在の川崎重工業）が、1969年に日本では最初のロボットを商品化したのを皮切りに、各社がこの市場に参入し自動車産業を中心に産業用ロボットが稼働し始めた。
その一方で、米国では労働組合を中心に産業用ロボットを使うファクトリー・オートメーションの拡大は失業を増やすという懸念も拡がり、普及は限定的であった。しかし高度成長下の日本ではこうした懸念よりも労働力不足の足枷が産業用ロボットの導入を牽引していった。1973年の、精密さが求められるトランジスタ組立用の自動ワイヤーボンダー はその代表例である。1960年にトランジスタ生産量が世界一になった日本では、一工場当たり2000～3000人の組立工程作業者（トランジスタガールと呼ばれた）を要していたが、これにより単純作業労働が一掃された。
このほかにも1970年代には様々な産業分野で、高度な精密作業が求められる生産技術のロボット化が進んでいった。この背景には、半導体のマイクロプロセッサを用いたPLC（Programable Logic Controller）による動作制御技術やサーボモーターの高度化などのロボット関連技術の日本国内サプライチェーン全体の協働があり、1980年の産業用ロボット元年に結実していった。
1980年代には、生産工程を担う精密な作業ロボットの高度化だけでなく、半生産品や部品を搬送するロボットや、それらの工場内ロボット全体を統御するFAシステム化も並行して進んでいった。このFA化も日本の主要産業に成長していった自動車関連産業が牽引したといえる。なお半導体産業においても、各工程の製造装置の自動化が進むとともに、1984年に三菱電機西条工場が、ウェーハカセットの自動搬送ロボットや生産工程を制御するFAシステムを採用した世界初の全自動ファブ を稼働させた。
1983年 日本ロボット学会の創立
会員数は2022年12月時点で、約3,621名そして賛助会員95団体となっている。主要な活動として、学術論文とロボットに関連する最新の状況の解説記事の特集を収録した「日本ロボット学会誌」の発行、欧文誌Advanced Roboticsの発行、そして「日本ロボット学会学術講演会」・「ロボティクス・シンポジア」の主催，ロボティクスに関する新しい分野や基礎的な内容を対象としたセミナーなどの企画・開催、そして論文賞，実用化技術賞，研究奨励賞等を設け，ロボットに関わる分野の学問，技術の奨励を行っている。
1985年 日本初のミュージシャンロボット（WABOT-2）の開発（早大）
1988年 高専ロボコンの開始（NHK）
2022年には、全国の高等専門学校57校62キャンパスから124チームが北海道・東北・関東甲信越・東海北陸・近畿・中国・四国・九州沖縄で開催される地区大会に参加し、そこで選ばれた25チームが全国大会に進む。開始以来、発想力と独創力を合言葉に毎年魅力的なロボットが生まれ、ハイレベルな試合が繰り広げられている。
1991年 NHK学生ロボコンの開始（NHK）
1996年 二足歩行ロボットの開発（ホンダ）
世界初の、外部から電源供給などを行わない（電線の紐付きでない）自立型人間サイズロボットで、脚部と上体を組み合わせて非常に質の高い二足歩行を実現したことが注目された。基本機能としては、階段昇降、台車押し、ドア通過、物の運搬、遠隔操縦による作業が備わっている。DCサーボモータで関節を駆動し、足首には、力センサー、ジャイロ、加速度センサーを備えている。ロボットは無線接続のワークステーションで操作した。
1997年 第1回ロボカップの開催（名古屋）
1993年に北野宏明（ソニー）、浅田稔（大阪大学）、松原仁（電総研）の日本のロボット研究者によって提唱された。第1回ロボカップは1997年に名古屋で行われ、その後毎年世界の各地で行われている。研究成果を同時開催のシンポジウムで公開することによって、最新技術が広く共有され、技術の進歩が加速される効果が期待されている。
1999年 自律型エンターテインメント・ロボットAIBOの発売（ソニー）
AIBO ERS-110には、CCDイメージセンサ（1/5インチ,180K画素）、感圧センサー、加速センサーが搭載され、64ビットRISCプロセッサ（16MBメモリ、アペリオスOS）で制御される。尻尾にステイックメモリが装着できる。制御用の半導体としては、当時の最高性能マイコン、ロジック、FPGA、DRAM、フラッシュメモリの他、各種のMEMSなどの先端技術製品が使われている。
[半導体歴史館 関連資料]（応用製品）1999年 自律型ロボット、AIBOの発売（ソニー）
2000年 外科手術ロボット、ダ・ヴィンチの開発と実用化（米国インテュイティヴ・サージカル社）
日本では2000年にアジアで初めて慶応義塾大学病院が導入、九州大学病院がこれに続いた。治験が行われて、2009年に厚生労働省薬事・食品衛生審議会で国内の製造販売が承認された。2012年4月1日より前立腺癌の全摘手術が保険適用となっている。国内には2016年9月末時点で大学病院を中心に237台導入された。
2000年 ヒト型ロボットASIMOの発表（ホンダ）
＜主要諸元＞
ワークステーションにより、スタートアップや定型動作を自動で実行できる。さらに、携帯コントローラを用いてロボットを簡単に自在歩行（前進・後退/カニ歩き/斜め歩き/旋回）させることができる。また、登録された動作（握手/両手を振る/バイバイ/おじぎ等）は、この携帯コントローラのボタン操作により選択実行できる。
2002年 ロボット掃除機ルンバ（Roomba）の商品化（iRobot）
2002年 ABUロボコンの開始（アジア太平洋放送連合）
2003年 二足歩行エンターテインメント・ロボットQrioの発表（ソニー）
このロボットには多くのデバイスが使われており、その処理能力は当時のハイエンドPCと同等以上である。また、従来のPCや携帯電話・スマートフォンなどと大きく異なる点は、多くのセンサー類が使われていたことである。
＜主要諸元＞
2007年 DARPA主催アーバンチャレンジ（自動運転車の走行コンテスト）
2008年 ロボットスーツHALの開発と製品化（筑波大）
2009年 表情機能のある人間型ロボットHRP-4Cの開発
HRP-4Cは、身長158cm、体重43kg（バッテリー含む）で、関節位置や寸法は日本人青年女性の平均値を参考に、人間に近い外観を実現した。歩行動作や全身動作はモーションキャプチャーで計測した人間の歩行動作や全身動作を参考にして、HRPにおいて開発された二足歩行ロボットの制御技術を適用することにより、人間に極めて近い動作を、また、音声認識にもとづく応答動作など人間とのインタラクションを実現した。頭部には、USBカメラを備え、コンピューターはPCI-104規格のPentium M（1.60GHz）を搭載している。
2010年代 ドローンの開発・普及
元々ドローンの技術は1970年代から軍用として、偵察目的などに使われていた。後に開発された米軍のプレデター（Predator）は偵察のみならず、攻撃用としても使われるようになった。その一方、産業用目的のドローンは1980年代に開発された農薬散布用のドローンであった。その先頭を切ったのはヤマハ発動機であり、1987年に「産業用無人ラジコンヘリコプター」として販売を開始した。折からの農業人口の減少への対策として、ドローンの応用が急速に進み、2002年には世界の65％のドローンが日本で使われていると言われた。
ヤマハ発動機は、2022年10月6日に、産業用マルチローターシリーズの新機種「YMR-II」と次世代産業用無人ヘリコプターの「FAZER R AP」（フェザーアールエーピー）を発表した。「YMR-II」は、安全・安心な国産農業用ドローン”を目指して開発されたが、高い情報セキュリティ機能を備えたことが最大の特徴であり、これによって、農業生産現場で得られたノウハウの流出、機体の乗っ取りなどから生産者を守ることを実現した。「FAZER R AP」は、（1）初心者でも運用が簡単な新型自動飛行用アプリケーションを用いた自動航行により、高精度な直線長距離散布による大規模圃場での散布に対応、（2）自動飛行時にボタン操作で作動する自動離着陸機能、（3）利便性の高いリモートエンジンスタート、を実現した。高度な操縦技術が求められる無人ヘリコプターに自動飛行機能を追加することで、操縦者の負担を軽減するとともに、農薬や肥料などの散布作業の効率化や散布品質の均一化にも寄与している。同社は、さらには、動く作業台”をコンセプトとした果樹園作業支援自動走行車のコンセプトモデルも発表し、農業市場でのさらなるブランド強化を目指している。
ドローンは世界各地で、災害地における状況確認、荷物の配達、警備、スポーツにおける空撮、など急速にその応用分野を広げてきた。
[半導体歴史館 関連資料]（応用製品）2010年代：産業用無人ヘリコプター（ドローン）の実用化（ヤマハ発動機、他）
2010年 自動運転車が公道走行試験で14万マイル無事故走行（グーグル）
車両にはレーザーカメラやレーザースキャナなど各種の視覚装置が備えられて、道路情報（周辺の車両、歩行者、交通信号、障害物など）を識別する。これらの情報をコンピューターが総合的に解析し、ハンドル、アクセル、ブレーキなどの運転動作の最終決定を行う。このために使われている人工知能がグーグルショーファー（Google Chauffeur）である。
2016年末、グーグルの開発プロジェクトは同社が分社化して誕生したウエイモ（Waymo）に移管された。
2011年 ASIMOに自律制御技術を搭載（ホンダ）
＜主要諸元＞
[半導体歴史館 関連資料]（応用製品）2011年：世界初の自律行動制御技術を「ASIMO」に搭載（ホンダ）
2014年 世界初の感情認識ロボットPepperの発表（ソフトバンク）
Pepperはインターネットに常時接続されており、人間とのスムーズな対話が可能である。また、学習機能を有しており、他のPepperが学習したこともネット経由で共有することができる。このロボットには、
頭：マイク×4、イメージセンサ×2、距離センサー×1、タッチセンサー×3
胸：ジャイロセンサー×1
手：タッチセンサー×2
脚：ソナーセンサー×2、レーザーセンサー×6、バンパーセンサー×3、ジャイロセンサー×1、赤外線センサー×2
が組み込まれた。CPUは、Intel Atom 2530（45nm、512Kキャッシュ、1.60GHz）、E3845（22nm、2Mキャシュ、1.91GHz）が採用された。
[半導体歴史館 関連資料]（応用製品）2015年：感情機能搭載の人型ロボット「Pepper」を本格導入（ソフトバンク）
2016年 自動運転車（レベル2）の販売開始（テスラ、メルセデスベンツ、日産）
レベル1（運転支援）：加速・操舵・制動のいずれか単一をシステムが支援的に行う状態。（自動ブレーキなど）
レベル2（部分自動運転）：システムがドライビング環境を観測しながら、加速・操舵・制動のうち同時に複数の操作をシステムが行う状態（高速道路で一つの車線に留まる場合など）
レベル3（条件付自動運転）：限定的な環境下において、システムが加速・操舵・制動を行うが、システムが要請したときはドライバーが対応しなければならない状態。
レベル4（高度自動運転）：特定の状況下（例えば極限環境を除く天候などの条件）において、加速・操舵・制動といった操作を全てシステムが行い、その条件が続く限りドライバーが全く関与しない状態。
レベル5（完全自動運転）：無人運転。考え得る全ての状況下及び、極限環境での運転をシステムに任せる状態。
日産が「スカイライン」に搭載した運転支援技術「プロパイロット2.0」を例にとると、7個のイメージセンサ、5個のミリ波レーダ、12個のソナーと、GNSS （Global Navigation Satellite System）、3D高精度地図データで、車両の周囲360度の情報、道路と自車両の正確位置関係、道路前方の曲率、勾配などの道路形状を把握し、車速・車間制御、車線維持、車線変更支援、追い越し支援、ルート走行支援などの機能を有した。
2020年 GPS利用田植えロボットの出荷（クボタ）
ステップ１ 搭乗状態での自動操舵、慣性計測・GPS
ステップ２ 有人監視下での自動化･無人化、現場立ち合い、搭乗監視、自動走行・自動作業、複数協業作業
ステップ３ 完全無人化、遠隔監視、自動制御（知能化）
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[最終変更バージョン] Ver.001 2023/8/1